一种检测表面洁净程度的装置及方法
一、成果简介
（一）成果概述
利用微纳米梁在表面粘附微尘时，其强迫振动的频率会与洁净时的固有频率不同，粘附的微尘越多，振动频率偏差越大，通过计数器记录，并根据偏差范围显示洁净等级，完成表面洁净程度的检测本项专利利用，其实质为质量传感器。
（二）技术特点及技术指标
本发明主要利用微纳米梁在粘附微尘前后的振动频率不同实现，可分辨质量很轻的微小灰尘，具有检测精度高，经久耐用的特点，不仅结构设计紧凑简单，且生产成本低，无需维护。
二、技术成熟程度
形成样机、样品或软件，已在产业中应用
三、推广合作方式
技术许可、作价入股、合作开发
四、团队简介
团队面向中国石油大学（华东）工程力学系，围绕微纳机电系统（MEMS/NEMS）动力学研究，依托中国石油大学（华东）力学系一级博士点平台，已经成为国内外交友影响力的研究团队。团队先后主持国家及省部级科研项目10项，其中主持国家级面上项目4项，在Applied Mathematical Modelling，International Journal of Mechanical Sciences，Applied Mathematics and Mechanics (English Edition)，Nanotechnology，力学学报等发表SCI（1区top刊3篇，二区2篇，三区10篇）；主编著作2部；授权国家发明专利5项；培养山东省优秀硕士学位论文获得者1人次。
五、专利授权及申请情况
国家发明专利：一种检测表面洁净程度的装置及方法（授权）
六、受资助及获奖情况
国家自然科学基金面上项目，11672334，基于表面弹性和应变梯度弹性理论的纳米弹性结构的复杂动力学研究，2017-01至2020-12。
联系方式：0532-86983018。
