一、个人概况
纪佳馨，副教授，工学博士，硕士生导师。研究方向集成电路制造、智能控制系统、流体密封原理与技术、表界面摩擦。黄岛区紧缺人才。先后主持国家自然科学基金1项，山东省自然科学基金1项、中央高校自主创新基金1项，横向课题3项；参与国家自然科学基金重大研究计划重点支持项目、国家自然科学基金面上项目等课题4项；发表SCI收录论文12篇，获得山东省教育系统女职工建功立业标兵、中国石油大学三八红旗手等荣誉称号。
二、研究方向
1.集成电路制造
2.轨道交通智能控制
3.机器人控制系统
三、合作领域
1.集成电路
2.智能家电
3.轨道交通装备
4.精密仪器仪表
5.新型显示
6.软件和信息服务
四、承担项目
（一）纵向课题
1.国家自然科学基金青年基金（51805547），近场光刻深宽比与界面稳定性的调控机理与实验研究，主持；
2.山东省自然科学基金（ZR2017LEE016），提高旋转式近场光刻系统加工深宽比的主动调控技术研究，主持；
3.中央高校自主创新科研计划项目（18CX02018A），高速下高深宽比超分辨纳米图案主动调控技术与机理研究，主持；
4.清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金重点项目（SKLTKA16B14），近场光学诱导加工大深宽比纳米结构的方法研究，主持；
（二）横向课题
1.旋转唇形密封系统多场耦合仿真分析（2020.09-2022.06），15万，主持；
2.主动径向系统仿真、分析、试验与控制算法设计（2021.12-2022.12），主持；
3.密封摩擦副表面形貌成分测试（2022.01-2022.03），主持；
4.橡胶塑料试样拉伸压缩性能测试（2022.10-2022.12），主持。
五、代表性成果
1.代表性论文：
(1)Jiaxin Ji, Sheng He, Zhongwen Lin, Shaohua Sun, Yueqiang Hu, Yonggang Meng, Shuangqing Wang, Study on Photoresist Transfer in Rotational Near-Field Photolithography Using Molecular Dynamics Simulation, Plasmonics, 2021, 16(1)（SCI）
(2)Jiaxin Ji, Pengfei Xu, Zhongwen Lin, Jiying Chen, Jing Li, and Yonggang Meng, Application of the Metal Reflector for Redistributing the Focusing Intensity of SPPs, Nanomaterials, 2020, 10(5) （SCI）
(3)Jiaxin Ji, Pengfei Xu, Jiying Chen, Jing Li, Yonggang Meng, High Depth-of-Field Nanostructures by Rotational Near-Field Photolithography, Plasmonics, 2020, 15(1)（ SCI）
(4)Jiaxin Ji, Jiying Chen, Pengfei Xu, Jing Li, Yueqiang Hu, Yonggang Meng, Effect of Plasmonic Lens Distribution on Flight Characteristics in Rotational Near-Field Photolithography, Journal of Applied Physics, 2019, 126 (18): 183101（SCI）
(5)Jiaxin Ji, Yonggang Meng, Yueqiang Hu, Jian Xu, Shayu Li, Guoqiang Yang, High-speed near-field photolithography at 16.85 nm linewidth with linearly polarized illumination, Optics Express, 2017, 25(15):17571-17580（SCI、）
(6)Jiaxin Ji, Yueqiang Hu, Yonggang Meng, Jun Zhang, Jian Xu, Shayu Li, Guoqiang Yang, The steady flying of a plasmonic flying head over a photoresist-coated surface in a near-field photolithography system, Nanotechnology, 2016, 27(18):185303（SCI）
(7)Jiaxin Ji, Yonggang Meng, Lin Sun, Xiaoyu Wu, Jia Wang, Strong Focusing of Plasmonic Lens with Nanofinger and Multiple Concentric Rings Under Radially Polarized Illumination, Plasmonics, 2016, 11(1):23-27（SCI）
(8)Jiaxin Ji, Yonggang Meng, Jun Zhang, Optimization of structure parameters of concentric plasmonic lens for 355 nm radially polarized illumination, Journal of Nanophotonics, 2015, 9(1)（SCI）
2.发明专利：
(1)孟永钢, 胡跃强, 纪佳馨, 王鸿栋. 等离子体透镜、空气轴承、飞行头、纳米加工系统及应用: 中国, ZL201610926129.4[P], 2019-05-28, 已授权
(2)纪佳馨, 薛秀胜, 吴宝贵, 孙少华, 李静. 一种高精度液压减振器与作动器动、静态测试平台: 中国, ZL201810524888.7[P], 2020-08-04, 已授权
(3)纪佳馨, 徐鹏飞, 吴宝贵, 李静. 一种用于高效、高分辨纳米图形的加工方法及设备: 中国, ZL201811184737.8[P], 2021-05-07, 已授权
(4)纪佳馨, 徐鹏飞, 吴宝贵, 李静. 一种用于旋转式近场光刻的纳米图形加工系统及方法: 中国, 201811184733.X[P], 2022-05-20, 已授权
3.软件著作权：
(1)基于时域有限差分法与伴随法的近场光刻邻近效应优化软件，20220512，已发放
(2)基于模型的近场光刻邻近效应优化软件，20220512，已发放
(3)商用车AMT换挡过程控制软件，20220427，已发放
六、获奖情况
1.2021年度山东省教育系统女职工建功立业标兵；
2.2019年全国大学生摩擦学创新设计大赛三等奖指导教师；
3.2018年度山东省优秀本科毕业设计（论文）指导老师；
4.2015年度全国摩擦学大会学术会议“优秀论文”奖；
5.2013年度全国摩擦学大会学术会议“优秀论文”奖；
6.第三届NanoMan2012国际会议“Excellent Young Award”。
七、联系方式
邮箱：jijiaxin@upc.edu.cn
